ストーブリ社製　クリーン環境用ロボット 

・高速・高性能に加えて発塵の少ない

　クリーンルーム用途にデザインされたロボット

・大手半導体メーカーでの長年にわたる実績が豊富

・清浄度ISO 2に適合し、

　スーパークリーンルームでの使用に耐える密閉構造

・高い安全機能を備え、人との協働用途も可能

・アプリケーション例

　　キャリア・カセットの搬送、ウェハ搬送、

　　レチクル貼り付け、ウェハ・レチクル検査および洗浄　等

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カタログ資料